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Product Category EVG540-晶圓鍵合自動化系統
EVG540-晶圓鍵合自動化系統
                 EVG620 NT-掩模對準光刻機系統
EVG620 NT-掩模對準光刻機系統
                 FR-pRoThetametrisis膜厚測量儀
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                 LAS-P-VIS™ 定心儀(偏心儀)
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                 Delcom 非接觸式電阻測試
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                 QuickPRO-CUBE非接觸式三維形貌儀
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                 AVI-400Herz AVI系列主動式防震臺
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                 EVG610納米壓印光刻系統
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                 EVG6200 NT掩模對準光刻系統
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                 FR-Scanner:自動化高速薄膜厚度測量儀
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                 FR-pRo:Thetametrisis膜厚測量儀
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                 HERCULESEVG量產型光刻機系統
HERCULESEVG量產型光刻機系統
                 FR-Scanner自動化高速薄膜厚度測量儀
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                 GEMINI FB XTEVG晶圓鍵合自動生產系統
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                 Orzew FC20/FC20X全自動晶圓關鍵尺寸檢測及分選機
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                 EVG850 DB自動解鍵合系統
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                 CI8化合物半導體SiC、GaN晶圓檢查裝置
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                 EVG7300多功能紫外納米壓印光刻系統
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