高精度主動減振平臺/減振臺產(chǎn)品介紹：

在3D空間的6個自由度中主動式隔振  從0.7 Hz 到100 Hz

在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體代表相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)), 振動、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。

在納米技術(shù)中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時(shí)需要主動隔離。

先進(jìn)的主動式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。

裝載設(shè)備：

掃描電子顯微鏡，如 AFM 3D表面分析儀，激光顯微鏡，激光干涉儀，液體表面張力測量系統(tǒng)，顯微硬度測量儀，醫(yī)療檢測設(shè)備等。

高精度主動減振平臺/減振臺特點(diǎn)：

1、在全部的6個自由度范圍內(nèi)，從0.7Hz到100Hz，TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動隔振性能。

2、當(dāng)儀器裝載時(shí)，高度調(diào)整會自動進(jìn)行。

3、即使當(dāng)負(fù)載偏離中心時(shí)，自動調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時(shí)，給予穩(wěn)定性。

4、通過按下前方的按鈕，系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。

5、前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實(shí)際振動水平。

6、主動隔振也可以通過使用可選的遠(yuǎn)程控制箱來從外部啟用或禁用。(單獨(dú)出售) 有關(guān)詳情，請與我們聯(lián)系。

TS應(yīng)用案例

Herz系列產(chǎn)品創(chuàng)建穩(wěn)定的測量環(huán)境

支持改善TS的隔振性能

主動式隔振系統(tǒng)控制水平和垂直方向20μm的振動振幅。如果工作臺或桌面不夠堅(jiān)硬，TS系列產(chǎn)品的隔振性能將會降低，或者振動會放大。我們提供具有內(nèi)置阻尼功能的剛性框架，以實(shí)現(xiàn)TS系列產(chǎn)品的理想性能。

帶有鉆孔和螺紋孔的安裝板

此安裝板由磁鐵不銹鋼和鋁制成。定制的鉆孔位置可以根據(jù)要求提供。